发明名称 DRY THIN FILM PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH02301141(A) 申请公布日期 1990.12.13
申请号 JP19890121052 申请日期 1989.05.15
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 NAGAO YASUAKI
分类号 H01L21/302;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/31;H01L21/318 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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