| 发明名称 |
PRODUCTION OF THIN TANTALUM FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02301554(A) |
申请公布日期 |
1990.12.13 |
| 申请号 |
JP19890122530 |
申请日期 |
1989.05.16 |
| 申请人 |
SEIKO EPSON CORP |
发明人 |
MORI YOSHIAKI;SAEGUSA HARUO;TAKAHASHI KATSUHIRO |
| 分类号 |
G02F1/1333;C23C14/08;C23C14/14;C23C14/34;C23C14/35;G09F9/30 |
主分类号 |
G02F1/1333 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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