Thin unoriented layer of microcristalline aluminium nitride on a surface, and method for its production.
摘要
Die Erfindung betrifft eine dünne unorientiert mikrokristalline Aluminiumnitridschicht auf einer Oberfläche eines flächenförmigen Gegenstandes und Verfahren zu ihrer Herstellung durch reaktives DC-(Magnetron)-Kathodensputtern.
申请公布号
EP0401663(A2)
申请公布日期
1990.12.12
申请号
EP19900110250
申请日期
1990.05.30
申请人
BASF AKTIENGESELLSCHAFT
发明人
HARTH, KLAUS, DR.;HIBST, HARTMUT, DR.;SONNBERGER, RALF, DR.;STEININGER, HELMUT, DR.
