Two-stage or multistage high-vacuum pump.

摘要

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren für die Zufuhr von Öl in den Schöpfraum der Hochvakuumstufe (2) einer zwei- oder mehrstufigen Hochvakuumpumpe (1); um eine exakte betriebsabhängige Ölversorgung zu erreichen, wird vorgeschlagen, daß eine ständige Ölzufuhr vorhanden ist, die für den Betrieb der Hochvakuumstufe (2) im Enddruckbereich ausreicht, und daß zusätzliches Öl in den Schöpfraum eingelassen wird, wenn die Differenz der Drücke im Ansaugbereich (4) und im Auslaßbereich (6) der Hochvakuumstufe (2) einen bestimmten Wert überschreitet; die Erfindung bezieht sich außerdem noch auf eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens, welche als Steuerelement für die Zufuhr des Öls eine Membran (35) umfaßt.