| 摘要 |
<p>Interferometeranordnung, insbesondere zur Entfernungsbzw. Verschiebewegbestimmung eines beweglichen Bauteiles, mit einer Laserdiode als Lichtquelle, mit wenigstens einem Interferometerkopf (1), der zumindest einen Strahlteiler (7) zur Aufteilung von aus der Laserdiode (2) stammendem Licht in einen Meßstrahl und einen Referenzstrahl und eine Rekombinationseinrichtung (15) enthält, an der der über Referenzstrecke geführte Referenzstrahl und der über einen beweglichen Meßspiegel (12) geführte Meßstrahl interferieren. Um unerwünschte Rückkopplungen von Laserlicht in die Laserdiode (2) auszuschalten, ist zwischen Laserdiode (2) und Inteferometerkopf (1) eine flexible Lichtleitfaser (32) mit einer optischen Länge von mindestens einem Meter angeordnet, über welche dem Interferometerkopf (1) von der Laserdiode (2) emittiertes Licht zugeführt wird. Zur Erleichterung der Handhabung ist ein erster Faserverbinder (37) vorgesehen, um das lichtquellenseitige Ende der Lichtleitfaser (32) mit einer Licht aus der Laserdiode (2) führenden Lichtleitfaser (38) lösbar zu verbinden. Außerdem ist ein zweiter Faserverbinder (40) vorgesehen, um das interferometerkopfseitige Ende der Lichtleitfaser (32) mit einer im Interferometerkopf (1) verlaufenden Lichtleitfaser (6) lösbar zu verbinden.</p> |
