发明名称 INSPECTING METHOD FOR HYBRID INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02300679(A) 申请公布日期 1990.12.12
申请号 JP19890122407 申请日期 1989.05.15
申请人 NEC CORP 发明人 KOIKE YASUHISA
分类号 G01R31/28;H01L21/82;H01L27/01;H05K3/00 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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