| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02299268(A) |
申请公布日期 |
1990.12.11 |
| 申请号 |
JP19890120828 |
申请日期 |
1989.05.15 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRON CORP |
发明人 |
EGAMI MIGAKU;IMANISHI SADAYUKI |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L29/423;H01L29/43;H01L29/49 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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