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发明名称
HEAT TREATMENT OF AL FILM
摘要
申请公布号
JPH02299237(A)
申请公布日期
1990.12.11
申请号
JP19890120825
申请日期
1989.05.15
申请人
MATSUSHITA ELECTRON CORP
发明人
MITSUI KENJI
分类号
H01L23/52;H01L21/28;H01L21/3205
主分类号
H01L23/52
代理机构
代理人
主权项
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