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经营范围
发明名称
CHARGED PARTICLE BEAM LITHOGRAPHY
摘要
申请公布号
JPH02299220(A)
申请公布日期
1990.12.11
申请号
JP19890118643
申请日期
1989.05.15
申请人
MATSUSHITA ELECTRON CORP
发明人
YAMAO TATSUHIKO
分类号
H01L21/027
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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