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经营范围
发明名称
ETCHING OF POLYIMIDE FILM
摘要
申请公布号
JPH02299234(A)
申请公布日期
1990.12.11
申请号
JP19890120738
申请日期
1989.05.15
申请人
FUJITSU LTD
发明人
KONNO JUNICHI
分类号
H01L21/768;H01L21/308;H01L21/312;H01L23/522
主分类号
H01L21/768
代理机构
代理人
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地址
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