PROBING APPARATUS,申请号JP19890121076-传众专利搜索

发明名称	PROBING APPARATUS
摘要
申请公布号	JPH02298870(A)	申请公布日期	1990.12.11
申请号	JP19890121076	申请日期	1989.05.15
申请人	TOKYO ELECTRON LTD	发明人	IKEDA TORU
分类号	G01R31/26;G01R1/073;H01L21/66	主分类号	G01R31/26
代理机构		代理人
主权项
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