发明名称 Method of producing layer structure of a memory cell for a dynamic random access memory device
摘要
申请公布号 US4977102(A) 申请公布日期 1990.12.11
申请号 US19890377002 申请日期 1989.07.07
申请人 FUJITSU LIMITED 发明人 EMA, TAIJI
分类号 H01L27/04;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/10;H01L27/108 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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