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经营范围
发明名称
SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH02298263(A)
申请公布日期
1990.12.10
申请号
JP19890119449
申请日期
1989.05.12
申请人
TOKYO ELECTRON LTD
发明人
WADA YUICHI;KATSUKI JIRO;OGAWA SHIZUO
分类号
C23C14/34;H01L21/285;H01L21/31;H01L21/3205
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
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