| 发明名称 |
MANUFACTURE OF HEMT WHEREIN DOPING PROPERTY OF ALGAAS LAYER IS IMPROVED |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02298040(A) |
申请公布日期 |
1990.12.10 |
| 申请号 |
JP19900069521 |
申请日期 |
1990.03.19 |
| 申请人 |
KANKOKU DENSHI TSUSHIN KENKYUSHO |
发明人 |
KOU JINTOKU;BOKU SHINSHIYOU;SAI HEITO |
| 分类号 |
C30B19/12;C30B29/42;H01L21/20;H01L21/338;H01L29/16;H01L29/778;H01L29/812 |
主分类号 |
C30B19/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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