发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH02298050(A) 申请公布日期 1990.12.10
申请号 JP19890119225 申请日期 1989.05.12
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 OSADA YOSHIHIRO
分类号 H01L21/768;H01L23/522 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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