发明名称 PRODUCTION OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH02298294(A) 申请公布日期 1990.12.10
申请号 JP19890117481 申请日期 1989.05.12
申请人 IDEMITSU KOSAN CO LTD 发明人 YOKOYAMA SEIICHIRO
分类号 G02B5/22;C25D9/02;C25D13/04 主分类号 G02B5/22
代理机构 代理人
主权项
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