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发明名称 SPUTTERING DEVICE FOR OXIDE SUPERCONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH02298265(A) 申请公布日期 1990.12.10
申请号 JP19880330265 申请日期 1988.12.27
申请人 ANELVA CORP 发明人 ISHIBASHI KEIJI
分类号 C04B41/87;C01G1/00;C23C14/08;C23C14/35;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24 主分类号 C04B41/87
代理机构 代理人
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