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发明名称 FORMATION OF SOI LAYER
摘要
申请公布号 JPH02298022(A) 申请公布日期 1990.12.10
申请号 JP19890119814 申请日期 1989.05.12
申请人 NEC CORP 发明人 KOYAMA KENICHI
分类号 H01L21/20;H01L21/263 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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