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发明名称 MULTI-GROWTH CHAMBER REACTION TUBE
摘要
申请公布号 JPH02296793(A) 申请公布日期 1990.12.07
申请号 JP19890118235 申请日期 1989.05.11
申请人 NEC CORP 发明人 MISAKI TOSHIYUKI;NASHIMOTO YASUNOBU
分类号 C30B25/02;H01L21/205 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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