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发明名称 VERFAHREN ZUR GESTEIGERTEN OXIDBILDUNG
摘要
申请公布号 DE4010585(A1) 申请公布日期 1990.12.06
申请号 DE19904010585 申请日期 1990.04.02
申请人 MOTOROLA, INC., SCHAUMBURG, ILL., US 发明人 PAULSEN, JAMES D., TEMPE, ARIZ., US;GRISWOLD, MARK DOUGLAS, CHANDLER, ARIZ., US
分类号 H01L21/28;H01L21/316 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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