| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING THIN FILM CRYSTAL LAYER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02295111(A) |
申请公布日期 |
1990.12.06 |
| 申请号 |
JP19890116521 |
申请日期 |
1989.05.09 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
KOBAYASHI KAZUHIRO;HAYAMA MASAHIRO |
| 分类号 |
H01L23/52;H01L21/20;H01L21/263;H01L21/268;H01L21/3205 |
主分类号 |
H01L23/52 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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