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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02296373(A) 申请公布日期 1990.12.06
申请号 JP19890117102 申请日期 1989.05.10
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 ARAKI TATSU;ICHIHASHI MOTOMI
分类号 G01L9/04;G01L9/00;H01L29/84 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
主权项
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