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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH02296348(A)
申请公布日期
1990.12.06
申请号
JP19890116102
申请日期
1989.05.11
申请人
NEC CORP
发明人
MATSUDA YUKIHIKO
分类号
H01L21/66;H01L21/321;H01L21/60
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
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