发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02296348(A) 申请公布日期 1990.12.06
申请号 JP19890116102 申请日期 1989.05.11
申请人 NEC CORP 发明人 MATSUDA YUKIHIKO
分类号 H01L21/66;H01L21/321;H01L21/60 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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