发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02296324(A) 申请公布日期 1990.12.06
申请号 JP19890116108 申请日期 1989.05.11
申请人 NEC CORP 发明人 YAMAUCHI MASAMITSU
分类号 H01L29/812;H01L21/288;H01L21/338;H01L29/41 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
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