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发明名称 ZERSTAEUBUNGSGERAET.
摘要
申请公布号 DE3675270(D1) 申请公布日期 1990.12.06
申请号 DE19863675270 申请日期 1986.05.20
申请人 TOYODA GOSEI CO., LTD., HARUHI, AICHI, JP 发明人 MANABE, LTD., KATSUHIDE C/O TOYODA GOSEI CO.;TSUTSUI, LTD., MASATOSHI C/O TOYODA GOSEI CO., NISHIKASUGAI-GUN AICHI-KEN, JP
分类号 C23C14/56;H01J37/34;H01L21/00;(IPC1-7):H01J37/34;H01J37/20 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
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