发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02296337(A) 申请公布日期 1990.12.06
申请号 JP19890118082 申请日期 1989.05.10
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 KURIYAMA HITOSHI
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/8222;H01L27/06;H01L29/732 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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