发明名称 VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER INTEGRIERTEN HALBLEITERSCHALTKREISANORDNUNG MIT EINEM MISFET.
摘要
申请公布号 DE3483531(D1) 申请公布日期 1990.12.06
申请号 DE19843483531 申请日期 1984.12.24
申请人 HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 OKUYAMA, KOUSUKE HITACHI-NISHIKISO 205, TACHIKAWA-SHI TOKYO, JP;SUZUKI, NORIO HITACHI-MAEHARA-RYO, KOGANEI-SHI TOKYO, JP;MEGURO, SATOSHI, NISHITAMA-GUN TOKYO, JP;NAGASAWA, KOUICHI, KUNITACHI-SHI TOKYO, JP
分类号 H01L27/092;H01L21/336;H01L21/8234;H01L21/8238;H01L27/088;H01L29/41;H01L29/417;H01L29/423;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/82;H01L21/00;H01L21/265;H01L21/28;H01L27/08 主分类号 H01L27/092
代理机构 代理人
主权项
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