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发明名称 HALBLEITERSPEICHER UND HERSTELLUNGSVERFAHREN.
摘要
申请公布号 DE3675347(D1) 申请公布日期 1990.12.06
申请号 DE19863675347 申请日期 1986.11.20
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 ARIMOTO, KAZUTAMI C/O MITSUBISHI DENKI K.K., TOKYO, JP
分类号 H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/10;G11C11/24 主分类号 H01L21/8242
代理机构 代理人
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