| 发明名称 |
VERFAHREN UND ANORDNUNG ZUR ENTFERNUNG VON PARTIKELN AUF HALBLEITERSCHEIBEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DD285227(A5) |
申请公布日期 |
1990.12.05 |
| 申请号 |
DD19890329855 |
申请日期 |
1989.06.22 |
| 申请人 |
VEB ELEKTROMAT DRESDEN,DD |
发明人 |
HOERHOLD,RUDOLF,DD |
| 分类号 |
B08B3/12;H01L21/463;(IPC1-7):H01L21/463 |
主分类号 |
B08B3/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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