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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0246046(Y2) 申请公布日期 1990.12.05
申请号 JP19860133760U 申请日期 1986.09.02
申请人 发明人
分类号 H01L21/26;G03F7/00;G03F7/40;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/26
代理机构 代理人
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