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发明名称 ANORDNUNG ZUR INTERFEROMETRISCHEN WINKELMESSUNG
摘要
申请公布号 DD285180(A5) 申请公布日期 1990.12.05
申请号 DD19890329646 申请日期 1989.06.15
申请人 VEB CARL ZEISS JENA,DD 发明人 DEGEL,BERNHARD,DD;GUTSCHE,GERALD,DD;DRESSLER,THOMAS,DD
分类号 G01B11/26;(IPC1-7):G01B11/26 主分类号 G01B11/26
代理机构 代理人
主权项
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