| 发明名称 |
ION SOURCE DEVICE AND CONTROL THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02295024(A) |
申请公布日期 |
1990.12.05 |
| 申请号 |
JP19890113925 |
申请日期 |
1989.05.06 |
| 申请人 |
NISSIN ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
FUJITA HIDEKI;FUJITA SHIGEHIRO;TANAKA KAZUHIKO;TANJIYOU MASAYASU |
| 分类号 |
H01J27/08;H01J37/08;H01J37/248 |
主分类号 |
H01J27/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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