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发明名称 METHOD FOR FORMING LAYER ON SURFACE OF MOVING SUBSTRATE AND VACUUM EVAPORATION EQUIPMENT USED FOR IT
摘要
申请公布号 JPH02294471(A) 申请公布日期 1990.12.05
申请号 JP19900100522 申请日期 1990.04.18
申请人 PHILIPS GLOEILAMPENFAB:NV 发明人 MASHIYUU SUKOTSUTO BURENSHIYORUTSU;POORU JIEI PATSUTO
分类号 C23C14/24;C23C14/04 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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