| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR FORMING A FILM ON A SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0247714(A3) |
申请公布日期 |
1990.12.05 |
| 申请号 |
EP19870302981 |
申请日期 |
1987.04.06 |
| 申请人 |
SEIKO INSTRUMENTS INC. |
发明人 |
KAITO, TAKASHI;ADACHI, TATSUYA |
| 分类号 |
H01L21/3213;C23C16/16;C23C16/48;H01L21/027;H01L21/285;H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
H01L21/3213 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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