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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH02294034(A) 申请公布日期 1990.12.05
申请号 JP19890115708 申请日期 1989.05.08
申请人 NEC KYUSHU LTD 发明人 MATSUMOTO TORU
分类号 H01L21/31;H01L21/316 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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