THIN FILM MOISTURE SENSING ELEMENTS AND PROCESS FOR THE MANUFACTURE THEREOF.

摘要

La présente invention décrit un élément à l'état solide (12) de détection de l'humidité, constitué par une fine pellicule. L'élément de détection (12) est fabriqué par le dépôt en fines péllicules d'au moins une paire de deux électrodes en couche (32 et 34) sur une surface isolante (27). La surface active de l'élément (12) est ensuite recouverte par une couche de matière hygroscopique (30) et placée dans un logement (14) de limitation de la diffusion pour compléter l'unité à élément de détection (10).