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发明名称
SUBSTRATE AND METHOD FOR REPLACING SUBSTRATE
摘要
申请公布号
JPH02294756(A)
申请公布日期
1990.12.05
申请号
JP19890115857
申请日期
1989.05.09
申请人
SHARP CORP
发明人
TANAKA MASATO;NINOMIYA YUKIO
分类号
G06F13/14
主分类号
G06F13/14
代理机构
代理人
主权项
地址
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