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发明名称 Verfahren zur Untersuchung einer Probe mittels der Elektronenstrahl-Rastermikroskopie und der Elektronenstrahl-Mikroanalyse
摘要
申请公布号 CH524140(A) 申请公布日期 1972.06.15
申请号 CH19710000956 申请日期 1971.01.22
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 DR. WEBER,ULRICH,DIPL.-PHYS.;GULLASCH,JUERGEN,DIPL.-PHYS.
分类号 G01Q30/04;H01J37/256;H01J37/28;(IPC1-7):G01N23/22 主分类号 G01Q30/04
代理机构 代理人
主权项
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