发明名称 |
PROCESS FOR DEPOSITING METALLIC COPPER |
摘要 |
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申请公布号 |
IE55640(B1) |
申请公布日期 |
1990.12.05 |
申请号 |
IE19840002218 |
申请日期 |
1984.08.30 |
申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
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分类号 |
H05K3/14;C23C16/18;H01L21/28;H01L21/285;(IPC1-7):C23C16/18;C23C16/48 |
主分类号 |
H05K3/14 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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