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经营范围
发明名称
LARGE CURRENT ION IMPLANTATING APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH02295049(A)
申请公布日期
1990.12.05
申请号
JP19890114275
申请日期
1989.05.09
申请人
MATSUSHITA ELECTRON CORP
发明人
SEKIGUCHI MASAAKI
分类号
H01J37/317;H01L21/265
主分类号
H01J37/317
代理机构
代理人
主权项
地址
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