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发明名称 VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG ELEKTRISCH LEITFAEHIGER GEBIETE
摘要
申请公布号 DD285224(A5) 申请公布日期 1990.12.05
申请号 DD19890329659 申请日期 1989.06.16
申请人 TU DRESDEN DIREKT. FORSCH.,DD 发明人 THOMAS,ANDREAS,DD;ZEHE,ALFRED,DD;KLABES,ROLAND,DD;GEILER,HANS-DIETER,DD
分类号 H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
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