| 发明名称 |
APPARATUS AND METHOD FOR PROCESSING A SEMICONDUCTOR WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0386447(A3) |
申请公布日期 |
1990.12.05 |
| 申请号 |
EP19900101754 |
申请日期 |
1990.01.29 |
| 申请人 |
ATOMEL PRODUCTS CORPORATION |
发明人 |
BOITNOTT, CHARLES |
| 分类号 |
H01L21/31;C30B33/00;H01L21/316;(IPC1-7):C30B33/00;C30B29/06 |
主分类号 |
H01L21/31 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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