发明名称 METHOD AND DEVICE FOR FORMING THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH02290969(A) 申请公布日期 1990.11.30
申请号 JP19890107719 申请日期 1989.04.28
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 HIRONO SHIGERU;FURUYA AKINORI
分类号 C23C14/35 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
地址