发明名称
摘要
申请公布号 DE3702187(C2) 申请公布日期 1990.11.29
申请号 DE19873702187 申请日期 1987.01.26
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 ITABASHI, SATOSHI, ATSUGI, KANAGAWA, JP;KAWAKAMI, SOICHIRO;TERADA, KATSUNORI, SAGAMIHARA, KANAGAWA, JP;SUZUKI, HIDEYUKI, MACHIDA, TOKIO/TOKYO, JP;FURUSHIMA, TERUHIKO, HIRATSUKA, KANAGAWA, JP;FUKAYA, MASAKI, ISEHARA, KANAGAWA, JP
分类号 H01L27/146;H01L31/0264;H01L31/09;H01L31/20 主分类号 H01L27/146
代理机构 代理人
主权项
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