| 发明名称 |
SUBSTRATE SURFACE DEFLECTING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR900008782(B1) |
申请公布日期 |
1990.11.29 |
| 申请号 |
KR19880000047 |
申请日期 |
1988.01.07 |
| 申请人 |
HITACHI LTD. |
发明人 |
AKIYAMA NOBUYUKI;KNNI ASAHIRO;KEMBO YUKIO;NAKATA TOSHIHIKO |
| 分类号 |
G02F1/13;G03B27/32;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/68;H05K3/00;(IPC1-7):H05K3/00 |
主分类号 |
G02F1/13 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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