| 发明名称 |
SPECIMEN TEMPERATURE CONTROLLING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02290038(A) |
申请公布日期 |
1990.11.29 |
| 申请号 |
JP19900064192 |
申请日期 |
1990.03.16 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
NEMOTO TAKEO;OGATA HISANAO;FUJIOKA KAZUMASA;TAMURA NAOYUKI |
| 分类号 |
G01N25/00;G01R31/26;H01L21/66 |
主分类号 |
G01N25/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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