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发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH02290015(A) 申请公布日期 1990.11.29
申请号 JP19890111135 申请日期 1989.04.28
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 INABA YUTAKA;TOMIKAWA MITSUHIRO
分类号 H01L21/205;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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