发明名称 PRODUCTION OF SINGLE CRYSTAL OF COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH02289488(A) 申请公布日期 1990.11.29
申请号 JP19890107853 申请日期 1989.04.28
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 KONO JUN;TATSUMI MASAMI;ARAKI TAKASHI
分类号 C30B13/00;H01L21/208 主分类号 C30B13/00
代理机构 代理人
主权项
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