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发明名称 VERFAHREN ZUR ZEICHNUNG EINES MUSTERS AUF EINER HALBLEITERPLATTE MITTELS GELADENES TEILCHENSTRAHLS.
摘要
申请公布号 DE3675120(D1) 申请公布日期 1990.11.29
申请号 DE19863675120 申请日期 1986.08.26
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 IKENAGA, OSAMU C/O PATENT DIVISION, MINATO-KU TOKYO 105, JP
分类号 H01L21/027;H01J37/302;(IPC1-7):H01J37/317;G03F7/20 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
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