| 发明名称 |
SOI STRUCTURE AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02288248(A) |
申请公布日期 |
1990.11.28 |
| 申请号 |
JP19900079069 |
申请日期 |
1990.03.29 |
| 申请人 |
INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> |
发明人 |
YUWANNCHIEN SUN |
| 分类号 |
H01L21/762;H01L21/8222;H01L27/06;H01L27/08;H01L27/12 |
主分类号 |
H01L21/762 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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